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电子束扫描曝光技术




作者:吴克华
中图分类:工业技术 ->无线电、电信 ->半导体技术
学科分类:工程学(二) ->电子与通信技术
出版日期:1985-06
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这个是隐藏的空行
内容简介

    本书从制作微电子器件出发,对电子束扫描曝光技术的基本内容及其应用,作了比较全面的介绍。
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